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一氧化氮

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一氧化氮(NO)特性、应用及安全指南

1. 基本性质

  • 化学式:NO

  • 分子量:30.01 g/mol

  • 物理状态:无色气体,微溶于水

  • 气味:轻微甜味(高浓度时有刺激性)

  • 密度:1.04(空气=1),略重于空气

  • 沸点:-151.8°C

  • 化学特性

    • 常温下易氧化为NO₂(与O₂反应)

    • 自由基性质,生物信号分子作用


2. 主要应用领域

应用领域 具体用途 典型浓度
医疗 吸入治疗(肺动脉高压、新生儿呼吸窘迫) 5-80 ppm
工业 半导体制造(化学气相沉积) 99.9%高纯NO
环保监测 烟气排放检测(CEMS系统校准) 50-1000 ppm(N₂平衡)
科研 血管舒张研究、神经递质实验 定制混合气

3. 标准气体配置

  • 常见混合气

    • NO/N₂:环保检测用(如100ppm NO/N₂)

    • NO/CO₂:医疗研究用

    • NO/He:激光技术用

  • 纯度等级

    • 工业级:≥99.5%

    • 电子级:≥99.99%(半导体用)

    • 医疗级:≥99.999%(GMP认证)


4. 安全注意事项

  • 健康危害

    • 50ppm以上导致呼吸道刺激

    • 1000ppm可致急性肺水肿(OSHA限值25ppm/8h)

  • 防护措施

    • 使用防毒面具(NO专用滤罐)

    • 工作场所安装NO检测报警仪

  • 储存要求

    • 棕色钢瓶(避光)

    • 压力≤15MPa,避免与O₂混存


5. 环境与法规

  • 温室气体:间接贡献臭氧形成

  • 处置方法

    • 碱性溶液吸收(生成亚硝酸盐)

    • 催化氧化为NO₂后处理


6. 常见问题

Q1:医疗用NO如何保证纯度?
A1:需通过:

  • 低温精馏提纯

  • 在线质谱仪监测(NO₂<1ppm)

Q2:NO在半导体中的作用?
A2:用于:

  • 氧化硅刻蚀(与NF₃混合)

  • 原子层沉积(ALD)工艺

Q3:如何检测NO泄漏?
A3:推荐方法:

  • 电化学传感器(0-100ppm范围)

  • 化学发光法(高精度检测)

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