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中国电子特气国产化进程加速,某企业突破高纯氖气技术壁垒

来源: 未知 浏览量: 时间:Jun 05, 2025

信息摘要:

在半导体产业链本土化趋势下,中国工业气体企业某公司宣布成功量产纯度达99.9999%的电子级氖气,打破国外企业长期垄断。该产品是光刻和蚀刻工艺的关键材料,此前严重依赖进口。


在半导体产业链本土化趋势下,中国工业气体企业某公司宣布成功量产纯度达99.9999%的电子级氖气,打破国外企业长期垄断。该产品是光刻和蚀刻工艺的关键材料,此前严重依赖进口。

行业专家指出,随着国内晶圆厂产能扩张,电子特气市场需求年增长率超20%,但技术门槛高、认证周期长。此次突破标志着国产工业气体在高端领域取得重要进展,未来或进一步降低芯片制造成本。

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